ESD控制及洁净室技术 |
第一部分 ESD基础 第一章 静电及静电产生 第二章 工厂ESD防护中的重要理论及实验 第三章 静电失效及 静电放电模型 第四章 静电防护的基本原理和原则 第二部分 防静电技术实务 第五章 接地及等电位连接技术 第六章 防静电材料技术 第七章 人体静电理论及人体防静电装备技术 第八章 厂区ESD防护区设置和设计 第九章 工作区防静电装备 第十章 敏感器件的周转和包装 第十一章 静电源控制技术 第十二章 离子静电消除器技术 第十三章 ESD防护区设备和工具 第十四章 实时监测技术 第三部分 ESD测试 第十五章 ESD相关测量及测量仪器 第十六 章 常用防静电用品标准及测试 第四部分 ESD体系和标准 第十七章 ESD标准组织及标准 第十八章 ESD S20.20-2021标准 第十九章 IEC61340-5-1标准 第二十章 其他相关标准 第五部分 洁净室技术 第二十一章 污染源及洁净室原理 第二十二章 洁净室工程及洁净室设备 第二十三章 洁净室标准 第二十四章 洁净室检测 第二十五章 洁净室用品 第二十六章 洁净室运行 |